第二十五届中国北京国际科技产业博览会
The 25th China Beijing International High-tech Expo
中芯国际:65纳米技术领衔“02专项”产业化
2011年05月31日    来源:经济日报

小到手机、电脑,大到飞机、高铁,随着信息化的快速推进,越来越离不开集成电路,即芯片。然而,我国集成电路行业从制造工艺到装备,再到材料,都严重依赖进口,使其成为我国大宗进口物资。在此背景下,“02专项”应运而生,成为新中国成立以来技术跨度宽、支持强度大的集成电路工艺研发项目。它的目标十分明确:通过自主创新,实现追赶和超越。   

 

02专项”打破了由大专院校、科研院所承担国家科技项目的,惯例,首次将项目的承担主体变成了企业,而这也成为“02专项”成功的秘诀之广。“帕专项”采取了“大兵团”作战的思路,在相关产业链上由100多家企业、研究单位一起参与,中芯国际是这个产业链的核心,它不仅承担着专项中654532纳米全套工艺技术开发,还同时承担了国产设备和材料项目的产业化验证工作。            

 

为了这个项目,中芯国际组织了上百名科技人员,投入十多亿资金,并通过联合北京大学、清华大学、中科院微电子研究所建立产学研联合实验室为项目开发提供全方位的支持。    65纳米工艺是目前全球集成电路产业中大规模.量产的先进主流生产工艺,中芯国际65纳米技术的开发成功,使得使我国的集成电路制造水平达到国际主流水平。重大专项产业化让企业“飞跃”。65纳米集成电路制造工艺于2009年下半年开始量产,成为"02专项”中首个实现产业化的项目,目前其12寸晶圆的出货累计创造销售收入1亿美元。